潔凈廠房電氣設(shè)計規(guī)范，潔凈廠房低壓配電設(shè)計應(yīng)采用220/380V。帶電導(dǎo)體系統(tǒng)的形式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統(tǒng)接地的形式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。

潔凈廠房的用電負(fù)荷等級和供電要求應(yīng)按現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《供配電系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定和生產(chǎn)工藝要求確定。主要生產(chǎn)工藝設(shè)備應(yīng)由專用變壓器或?qū)Ｓ玫蛪吼侂娋€路供電，有特殊要求的工作電源宜設(shè)置不間斷電源(UPS)。凈化空調(diào)系統(tǒng)用電負(fù)荷、照明負(fù)荷應(yīng)由變電所專線供電。

潔凈廠房消防用電設(shè)備的供配電設(shè)計應(yīng)按現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《建筑防火設(shè)計規(guī)范》有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。電源進(jìn)線應(yīng)設(shè)置切斷裝置，并宜設(shè)在潔凈區(qū)外便于管理的地點。

潔凈室內(nèi)的配電設(shè)備應(yīng)選擇不易積塵、便于擦拭的小型暗裝設(shè)備，不宜設(shè)置大型落地安裝的配電設(shè)備。

潔凈室內(nèi)的電氣管線宜暗敷，穿線導(dǎo)管應(yīng)采用不燃材料。潔凈區(qū)的電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設(shè)備與墻體接縫處應(yīng)有可靠的密封措施。

條文說明
9.1 配電
9.1.1 潔凈廠房內(nèi)有較多的電子設(shè)備系單相負(fù)荷，存在不平衡電流。而且環(huán)境中有熒光燈、晶體管、數(shù)據(jù)處理以及其他非線性負(fù)荷存在，配電線路中存在高次諧波電流，致使中性線上流有較大的電流。而TN-S或TN-C-S接地系統(tǒng)中有專用不帶電的保護(hù)接地線(PE)，因此安全性好。
9.1.2 在潔凈廠房中，工藝設(shè)備用電的負(fù)荷等級應(yīng)由它對供電可靠性的要求來確定。同時，它又與為凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運行的用電負(fù)荷，如送風(fēng)機(jī)、回風(fēng)機(jī)、排風(fēng)機(jī)等有密切的聯(lián)系。對這些用電設(shè)備的可靠供電是保證生產(chǎn)的前提。在確定供電可靠性方面，下列幾個因素應(yīng)予以考慮：

(1) 潔凈廠房是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展的產(chǎn)物。隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異，新技術(shù)、新工藝、新產(chǎn)品不斷出現(xiàn)，產(chǎn)品精密度的日益提高，對無塵提出了越來越高的要求。目前，潔凈廠房已廣泛應(yīng)用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造等重要部門。

(2) 潔凈廠房的空氣潔凈度對有凈化要求的產(chǎn)品質(zhì)量有很大影響。因此，必須保持凈化空調(diào)系統(tǒng)的正常運行。據(jù)了解，在規(guī)定的空氣潔凈度下生產(chǎn)的產(chǎn)品合格率可提高約10％～30％。一旦停電，室內(nèi)空氣會很快污染，影響產(chǎn)品質(zhì)量。

(3) 潔凈廠房是個相對的密閉體，由于停電造成送風(fēng)中斷，室內(nèi)的新鮮空氣得不到補(bǔ)充，有害氣體不能排出，對工作人員的健康是不利的。

潔凈廠房內(nèi)對供電有特殊要求的用電設(shè)備宜設(shè)置不間斷電源(UPS)供電。對供電有特殊要求的用電設(shè)備是指采用備用電源自動投入方式或柴油發(fā)電機(jī)組應(yīng)急自啟動方式仍不能滿足要求者，一般穩(wěn)壓穩(wěn)頻設(shè)備不能滿足要求者，計算機(jī)實時控制系統(tǒng)和通信網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控系統(tǒng)等。

近年來，國內(nèi)外一些潔凈廠房中一級用電負(fù)荷因雷擊及電源瞬時變動而引起停電事故頻繁發(fā)生，造成了較大的經(jīng)濟(jì)損失，其原因不是主電源斷電，而是控制電源失電造成保護(hù)系統(tǒng)失靈而造成事故。

電氣照明在潔凈廠房設(shè)計中也很重要。從工藝性質(zhì)來看，潔凈廠房內(nèi)一般從事精密視覺工作，需要高照度高質(zhì)量照明。為了獲得良好和穩(wěn)定的照明條件，除了解決好照明形式、光源、照度等一系列問題外，最重要的是保證供電電源的可靠性和穩(wěn)定性。

潔凈廠房照明電源直接由變電所低壓照明盤專線供電，把它與動力供電線分開，避免引起照明電源電壓頻繁的和較大的波動，同時增加供電的可靠性。根據(jù)對熒光燈供電電壓與照度關(guān)系的現(xiàn)場測定，電壓由226V降到208V時，相應(yīng)的照度由530lx降到435lx，可見，電壓波動對熒光燈的照度影響較大。

鑒于原因，潔凈廠房凈化空調(diào)系統(tǒng)用電負(fù)荷、照明負(fù)荷應(yīng)由專用低壓饋電線路供電。
9.1.3 消防用電設(shè)備供配電設(shè)計有嚴(yán)格要求，這些要求已在現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016中作了明確規(guī)定。潔凈廠房從工程投資規(guī)模和廠房的密封結(jié)構(gòu)等方面考慮，防火設(shè)計更顯重要，故把消防用電
設(shè)備的供配電設(shè)計作為單獨一條提出。
9.1.4 從調(diào)研資料表明，潔凈廠房曾發(fā)生過多次事故，而電氣原因引起的火災(zāi)事故占很大比例。為了防止?jié)崈魪S房或單獨潔凈室在節(jié)假日停止工作或無人值班時的電氣火，以及當(dāng)火發(fā)生時便于可靠地切斷電源，所以電源進(jìn)線保護(hù)應(yīng)設(shè)置切斷裝置。

為了方便管理，切斷裝置宜設(shè)在非潔凈區(qū)便于操作的地點。
9.1.5 據(jù)調(diào)查，國內(nèi)大部分潔凈室內(nèi)的配電設(shè)備為暗裝，這主要是防止積塵，便于清掃。另外，潔凈室建筑裝修標(biāo)準(zhǔn)比較高，應(yīng)與室內(nèi)墻體顏色、美觀整齊相協(xié)調(diào)。對于大型配電設(shè)備，如落地式動力配電箱，暗裝比較困難，為了減少積塵，宜放在非潔凈區(qū)，如技術(shù)夾層或技術(shù)夾道等。
9.1.6 管線暗敷原因見

9.1.5條的條文說明。
考慮防火要求，管材應(yīng)采用不燃材料。
當(dāng)凈化空調(diào)系統(tǒng)停止運行，該系統(tǒng)又未設(shè)值班送風(fēng)時，為防止由于壓差而使塵粒通過管線空隙滲入潔凈室，所以由非潔凈區(qū)進(jìn)入潔凈區(qū)，不同級別潔凈室之間電氣管線口應(yīng)做密封處理。
9.2 照明
9.2.1 潔凈室內(nèi)照明光源宜采用高效熒光燈。若工藝有特殊要求或照度值達(dá)不到設(shè)計要求時，可采用其他形式光源。
9.2.2 潔凈室內(nèi)一般照明燈具應(yīng)為吸頂明裝。當(dāng)燈具嵌入頂棚暗裝時，安裝縫隙應(yīng)有可靠的密封措施。潔凈室應(yīng)采用潔凈室專用燈具。
9.2.3 無采光窗的潔凈室（區(qū)）的生產(chǎn)用房間一般照明的照度標(biāo)準(zhǔn)值宜為200lx～500lx，輔助用房、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等宜為150lx～300lx。
9.2.4 潔凈室內(nèi)一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于0.7。
9.2.5 潔凈廠房內(nèi)備用照明的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置備用照明。
2 備用照明宜作為正常照明的一部分。
3 備用照明應(yīng)滿足所需場所或部位進(jìn)行必要活動和操作的最低照度。
9.2.6 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)按現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定設(shè)置疏散標(biāo)志。在專用消防口處應(yīng)設(shè)置疏散標(biāo)志。
9.2.7 潔凈廠房中有爆炸危險的房間的照明燈具和電氣線路的設(shè)計，應(yīng)符合現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。

條文說明
9.2 照明
9.2.1 潔凈室的照明一般要求照度高，但燈具安裝的數(shù)量受到送風(fēng)風(fēng)口數(shù)量和位置等條件的限制，這就要求在達(dá)到同一照度值情況下，安裝燈具的個數(shù)最少。熒光燈的發(fā)光效率一般是白熾燈的3倍～4倍，而且發(fā)熱量小，有利于空調(diào)節(jié)能。此外，潔凈室天然采光少，在選用光源時還需考慮它的光譜分布盡量接近于天然光，熒光燈基本能滿足這一要求。因此，目前國內(nèi)外潔凈室一般均采用熒光燈作為照明光源。當(dāng)有些潔凈室層高較高，采用一般熒光燈照明很難達(dá)到設(shè)計照度值，在此情況下，可采用其他光色好、光效更高的光源。由于某些生產(chǎn)工藝對光源光色有特殊要求，或熒光燈對生產(chǎn)工藝和測試設(shè)備有干擾時，也可采用其他形式光源。
9.2.2 照明燈具的安裝方式是潔凈室照明設(shè)計的重要課題之一。隨著潔凈技術(shù)的發(fā)展，普遍認(rèn)為要保持潔凈室內(nèi)的潔凈度關(guān)鍵有三個要素：
(1) 使用合適的高效過濾器。
(2) 解決好氣流流型，維持室內(nèi)外壓差。
(3) 保持室內(nèi)免受污染。
因此，能否保持潔凈度主要取決于凈化空調(diào)系統(tǒng)及選用的設(shè)備，當(dāng)然也要消除工作人員及其他物體的塵源。眾所周知，照明燈具并不是主要塵源，但如果安裝不妥，將會通過燈具縫隙滲入塵粒。實踐證明，燈具嵌入頂棚暗裝，在施工中往往與建筑配合誤差較大，造成密封不嚴(yán)，不能達(dá)到預(yù)期效果，而且投資大，發(fā)光效率低。實踐和測試結(jié)果表明，在非單向流潔凈室中，照明燈具明裝并不會使?jié)崈舳鹊燃売兴陆怠?/p>

鑒于以上原因，在潔凈室中燈具安裝應(yīng)以吸頂明裝為好。但是若燈具安裝受到層高限制及工藝特殊要求暗裝時，一定要做好密封處理，以防塵粒滲入潔凈室，燈具結(jié)構(gòu)能便于清掃和更換燈管。
據(jù)調(diào)查，目前國內(nèi)已有包括帶格柵的各種類型潔凈室專用燈具生產(chǎn)，本條取消了相關(guān)燈具形式的限制性規(guī)定，并明確應(yīng)采用清凈室專用燈具。潔凈室的燈具及其安裝方式對維持空氣潔凈度至關(guān)重要，為此，本條為強(qiáng)制性條文。
9.2.3 本條中的無采光窗潔凈室（區(qū)）是指在建筑物的圍護(hù)結(jié)構(gòu)上不設(shè)置窗，或有窗而被全部遮擋，或窗面積很小起不到采光窗作用的潔凈廠房。參照現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《建筑照明設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)》GB50034-2004中的有關(guān)規(guī)定對本條進(jìn)行了修改，表11是摘錄該標(biāo)準(zhǔn)的部分相關(guān)內(nèi)容。
表11中的電子工業(yè)、制藥工業(yè)、精密加工、食品工業(yè)等的照度值均在本條規(guī)定的200lx～500lx范圍。本次修訂本條改為推薦性條文。
9.2.4 根據(jù)對現(xiàn)有潔凈廠房的照明調(diào)查，一般生產(chǎn)車間的照度均勻度都能達(dá)到0.7。經(jīng)征求使用者意見，認(rèn)為比值能滿足要求。
9.2.5 潔凈廠房的正常照明因電源故障而熄滅，不能進(jìn)行必要的操作處置可能導(dǎo)致生產(chǎn)流程混亂，加工處理的貴重零部件損壞；或由于不能進(jìn)行必要的操作處置而可能引起火、爆炸和中等事故，本條規(guī)定應(yīng)設(shè)置備用照明，以防止上述事故和情況發(fā)生。
備用照明應(yīng)滿足所需要的場所或部位進(jìn)行各項活動和工作所需的最低照度值。一般場所備用照明的照度不應(yīng)低于正常照明照度標(biāo)準(zhǔn)的1/1*。消防控制室、應(yīng)急發(fā)電機(jī)室、配電室及電話機(jī)房等房間的主要工作面上，備用照明的照度不宜低于正常照明的照度值。為減少燈具重復(fù)設(shè)置，節(jié)省投資，并對提高潔凈室的潔凈度有利，備用照明宜作為正常照明的一部分。
9.2.6 潔凈廠房是一個相對的密閉體，室內(nèi)人員流動路線復(fù)雜，出入通道迂回，為便于事故情況下人員的疏散，及火時能，所以潔凈廠房應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明。
在安全出口、疏散口和疏散通道轉(zhuǎn)角處設(shè)置標(biāo)志燈以便于疏散人員辨認(rèn)通行方向，迅速撤離事故現(xiàn)場。在專用消防口設(shè)紅色應(yīng)急燈，以便于消防人員及時進(jìn)入廠房進(jìn)行滅火。本條為強(qiáng)制性條文。
9.2.7 據(jù)調(diào)查，近年設(shè)計、建造的各類潔凈廠房中均設(shè)有面積不等的有爆炸危險的房間，如可燃?xì)怏w分配間、可燃液體（溶劑等）的儲存分配間等，為此本次修訂增加本條規(guī)定。
9.3 通信
9.3.1 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置與廠房內(nèi)、外聯(lián)系的通信裝置。潔凈廠房內(nèi)生產(chǎn)區(qū)與其他工段的聯(lián)系宜設(shè)生產(chǎn)對講電話。
9.3.2 潔凈廠房根據(jù)生產(chǎn)管理和生產(chǎn)工藝特殊需要，宜設(shè)置閉路電視監(jiān)視系統(tǒng)。
9.3.3 潔凈廠房的生產(chǎn)層、技術(shù)夾層、機(jī)房、站房等均應(yīng)設(shè)置火報警探測器。潔凈廠房生產(chǎn)區(qū)及走廊應(yīng)設(shè)置手動火災(zāi)報警按鈕。
9.3.4 潔凈廠房應(yīng)設(shè)置消防值班室或控制室，并不應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)內(nèi)。消防值班室應(yīng)設(shè)置消防專用電話總機(jī)。
9.3.5 潔凈廠房的消防控制設(shè)備及線路連接應(yīng)可靠?？刂圃O(shè)備的控制及顯示功能應(yīng)符合現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《火自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定。潔凈區(qū)內(nèi)火報警應(yīng)進(jìn)行核實，并應(yīng)進(jìn)行下列消防聯(lián)動控制：
1 應(yīng)啟動室內(nèi)消防水泵，接收其反饋信號。除自動控制外，還應(yīng)在消防控制室設(shè)置手動直接控制裝置。
2 應(yīng)關(guān)閉有關(guān)部位的電動防火閥，停止相應(yīng)的空調(diào)循環(huán)風(fēng)機(jī)、排風(fēng)機(jī)及新風(fēng)機(jī)，并應(yīng)接收其反饋信號。
3 應(yīng)關(guān)閉有關(guān)部位的電動防火門、防火卷簾門。
4 應(yīng)控制備用應(yīng)急照明燈和疏散標(biāo)志燈燃亮。
5 在消防控制室或低壓配電室，應(yīng)手動切斷有關(guān)部位的非消防電源。
6 應(yīng)啟動火災(zāi)應(yīng)急擴(kuò)音機(jī)，進(jìn)行人工或自動播音。
7 應(yīng)控制電梯降至首層，并接收其反饋信號。
9.3.6 潔凈廠房中易燃、易爆氣體、液體的貯存和使用場所及入口室或分配室應(yīng)設(shè)可燃?xì)怏w探測器。有毒氣體、液體的貯存和使用場所應(yīng)設(shè)氣體檢測器。報警信號應(yīng)聯(lián)動啟動或手動啟動相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)，并應(yīng)將報警信號送至消防控制室。

條文說明
9.3 通信
9.3.1 潔凈廠房設(shè)置的電話、對講電話等是與內(nèi)、外部聯(lián)系的裝置，有如下作用：
(1) 作為正常的工作聯(lián)系。
(2) 發(fā)生火災(zāi)時與外部聯(lián)系，積極采取有效的滅火措施。
(3) 潔凈室內(nèi)的工作人員是一個重要的塵源，人走動時的發(fā)塵量是靜止時的5倍～10倍，所以減少人員在潔凈室內(nèi)的走動，對保證潔凈度有很重要的作用。
9.3.3 潔凈廠房廣泛應(yīng)用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造及科研各個行業(yè)中，其重要性越來越多地被人們所認(rèn)識。新建和改建的潔凈廠房數(shù)量不斷增加，大多數(shù)潔凈廠房內(nèi)設(shè)有貴重設(shè)備、儀器，且建造費用昂貴，一旦著火損失巨大。同時潔凈廠房內(nèi)人員進(jìn)出迂回曲折，人員疏散比較困難，火情不易被外部發(fā)現(xiàn)，消防人員難以接近，防火有一定困難，因此設(shè)置火災(zāi)自動報警裝置十分重要。

對近年設(shè)計、建成的25個潔凈廠房的調(diào)查中，有約90％以上的潔凈廠房裝有火災(zāi)自動報警裝置，這是由于本規(guī)范頒布實施以來潔凈廠房裝設(shè)火報警裝置已得到各方面的重視和認(rèn)同，消防意識不斷提高，隨著產(chǎn)品質(zhì)量提高、價格合理，各種形式的報警裝置正得到廣泛應(yīng)用，因此作了本條的強(qiáng)制性規(guī)定。
目前我國生產(chǎn)的火災(zāi)報警探測器的種類較多，常用的有感煙式、紫外線感光式、紅外線感光式、定溫感溫式、差定溫復(fù)合式等。
9.3.4 本條規(guī)定的潔凈廠房中應(yīng)設(shè)置消防值班室或控制室是確保各類消防系統(tǒng)正常運行和及時對發(fā)生的各類火情等組織撲救的關(guān)鍵手段，故作為強(qiáng)制性條文規(guī)定。
9.3.5 本條規(guī)定探測器報警后，強(qiáng)調(diào)人工核實和控制，當(dāng)確認(rèn)是真正發(fā)生火后，按規(guī)定設(shè)置的聯(lián)動控制設(shè)備進(jìn)行操作并反饋信號，目的是減少損失。因為潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)要求與普通廠房不同，對于潔凈度要求嚴(yán)格的廠房，若一旦關(guān)斷凈化空調(diào)系統(tǒng)即使再恢復(fù)也會影響潔凈度，使之達(dá)不到工藝生產(chǎn)要求而造成損失。為此本條作了強(qiáng)制性規(guī)定。
9.3.6 由于各類潔凈廠房中，不僅使用易燃、易爆氣體和有毒氣體，有的潔凈廠房還使用易燃、易爆液體和有毒液體等，所以本條將條文中除“氣體”外增加“液體”。通常易燃、易爆液體泄漏后，可揮發(fā)為液體蒸氣或相變?yōu)闅鈶B(tài)，可通過氣體或液體蒸氣進(jìn)行檢測報警；某些液體可能泄漏后不會很快揮發(fā)，此時應(yīng)設(shè)置液體泄漏探測器等。本條為強(qiáng)制性條文。
9.4 自動控制
9.4.1 潔凈廠房宜設(shè)置凈化空調(diào)系統(tǒng)等的自動監(jiān)控裝置。
9.4.2 潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)宜選用變頻調(diào)速控制的風(fēng)機(jī)。
9.4.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)的電加熱器應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫斷電保護(hù)裝置。當(dāng)采用電加濕器時，應(yīng)設(shè)置無水保護(hù)裝置。

條文說明
9.4 自動控制
9.4.1 潔凈廠房設(shè)置一套較完整的自動監(jiān)控裝置，對確保潔凈廠房的正常生產(chǎn)和提高運行管理水平十分有利，但建設(shè)投資增加。各類潔凈廠房內(nèi)包括潔凈室空氣潔凈度、溫度和濕度的監(jiān)控，潔凈室的壓差監(jiān)控，高純氣體、純水的監(jiān)控，氣體純度、純水水質(zhì)的監(jiān)測等的要求是不同的，并且各行各業(yè)的潔凈室（區(qū)）的規(guī)模、面積也是不同的，所以自動監(jiān)控裝置的功能應(yīng)視工程具體情況確定，宜設(shè)計成各種類型的監(jiān)測、控制系統(tǒng)，只有相當(dāng)規(guī)模的潔凈廠房宜設(shè)計成集散式計算機(jī)控制和管理系統(tǒng)。為此本次修訂將本條改為推薦性條文。
9.4.2 凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣過濾器隨運行時間的增加，阻力逐漸增大，為保持送風(fēng)風(fēng)量，經(jīng)常手動調(diào)節(jié)系統(tǒng)中的風(fēng)閥，以增加風(fēng)量，調(diào)整很麻煩；在空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)調(diào)試中，系統(tǒng)啟動時為使風(fēng)機(jī)空載啟動，首先將風(fēng)機(jī)出口處風(fēng)閥關(guān)閉，風(fēng)機(jī)啟動后，由于風(fēng)閥上承受壓力很大，打開十分困難。當(dāng)采用空氣過濾器前后壓力差的變化控制送風(fēng)機(jī)的變頻調(diào)速裝置后，送風(fēng)量的調(diào)節(jié)變得十分容易，送風(fēng)壓力穩(wěn)定。同時潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)機(jī)采用變頻調(diào)速后節(jié)能十分顯著。
9.4.3 為避免凈化空調(diào)系統(tǒng)因風(fēng)機(jī)停轉(zhuǎn)無風(fēng)或超溫時，電加熱器繼續(xù)送電加熱會造成設(shè)備損壞甚至發(fā)生火，本條強(qiáng)制性規(guī)定應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫斷電等保護(hù)裝置。
9.5 靜電防護(hù)及接地9.5.1 潔凈廠房應(yīng)根據(jù)工藝生產(chǎn)要求采取靜電防護(hù)措施。
9.5.2 潔凈室（區(qū)）內(nèi)的防靜電地面，其性能應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 地面的面層應(yīng)具有導(dǎo)電性能，并應(yīng)保持長時間性能穩(wěn)定。
2 地面的面層應(yīng)采用靜電耗散性的材料，其表面電阻率應(yīng)為1.0×105Ω/□～1.0×1012Ω/□或體積電阻率為1.0×104Ω·cm～1.0×1011Ω·cm。
3 地面應(yīng)設(shè)有導(dǎo)電泄放措施和接地構(gòu)造，其對地泄放電阻值應(yīng)為1.0×105Ω～1.0×109Ω。
9.5.3 潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)采取防靜電接地措施。
9.5.4 潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火危險場所的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《爆和火危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。
9.5.5 防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)分別按不同要求設(shè)置接地連接端子。在一個房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán)。
在防靜電接地系統(tǒng)各個連接部位之間電阻值應(yīng)小于0.1Ω。
9.5.6 潔凈廠房內(nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設(shè)計均應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則，其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線應(yīng)單獨絕緣敷設(shè)，并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜。
9.5.7 接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時接地電阻值應(yīng)小于或等于1Ω：選擇分散接地方式時，各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠(yuǎn)離防雷接地系統(tǒng)的接地體，兩者應(yīng)保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計規(guī)范》GB 50057的有關(guān)規(guī)定。

條文說明
9.5 靜電防護(hù)及接地
9.5.1 潔凈廠房的室內(nèi)環(huán)境中許多場合存在著靜電危害，從而導(dǎo)致電子器件、電子儀器和電子設(shè)備損壞或性能下降，或?qū)е氯梭w遭受電擊傷害，或?qū)е卤ā⒒鹞ｋU場所引燃、引爆，或?qū)е聣m埃吸附影響環(huán)境潔凈度。因此，潔凈廠房工程設(shè)計中要十分重視防靜電環(huán)境設(shè)計。
9.5.2 防靜電地面材料采用具有導(dǎo)靜電性能的材料是防靜電環(huán)境設(shè)計的基本要求。目前國內(nèi)生產(chǎn)的防靜電材料及制品有長效型、短效型和中效型，長效型必須是長時間持久地保持靜電耗散性能，其時間界限為十年以上，而短效型能維持靜電耗散性能在三年以內(nèi)，介于三年以上和十年以下的為中效型。潔凈廠房一般為永久性建筑，因此條文強(qiáng)制性規(guī)定防靜電地面應(yīng)選用具有長時間保持穩(wěn)定靜電耗散性能的材料。

本條第2款和第3款中規(guī)定了防靜電地面的表面電阻率、體積電阻率和地面對地泄放電阻值，這些規(guī)定是參照現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《電子產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)防靜電檢測通用規(guī)范》SJ/T10694而制訂的。
9.5.3 由于各種用途的潔凈室對防靜電控制的要求是不同的，工程實踐表明，目前在一些潔凈廠房內(nèi)的凈化空調(diào)系統(tǒng)采取了防靜電接地措施，但也有一些潔凈廠房內(nèi)的凈化空調(diào)系統(tǒng)未采用此項措施，所以本次修訂改為推薦性條文。
9.5.4 潔凈廠房內(nèi)可能產(chǎn)生靜電的生產(chǎn)設(shè)備（包括防靜電安全工作臺）和容易產(chǎn)生靜電的流動液體、氣體或粉體的管道，應(yīng)采取防靜電接地措施，將靜電導(dǎo)除。當(dāng)這些設(shè)備與管道處在爆炸和火危險環(huán)境中時，設(shè)備和管道的連接安裝要求更加嚴(yán)格，以防發(fā)生嚴(yán)重災(zāi)害。因此，強(qiáng)調(diào)執(zhí)行現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB 50058的規(guī)定。本條為強(qiáng)制性條文。
9.5.5、9.5.6 這兩條修改的理由是：第一，各種用途的潔凈室（區(qū)）對防靜電控制的要求是不同的，有一些潔凈室（區(qū)）還沒有防靜電接地要求，所以條文不宜規(guī)定過嚴(yán)，避免增加執(zhí)行的難度；第二，原條文的一些規(guī)定過細(xì)；第三，條文中的一些內(nèi)容與相關(guān)的規(guī)范相同或相似。因此，兩條的內(nèi)容進(jìn)行簡化，并改為推薦性條文。
9.5.7 為了解決好各個接地系統(tǒng)之間的相互關(guān)系，接地系統(tǒng)設(shè)計時，必須以防雷接地系統(tǒng)設(shè)計為基礎(chǔ)。由于在大多數(shù)情況下各種功能接地系統(tǒng)采用綜合接地方式，因此首先必須考慮防雷接地系統(tǒng)，使其他功能接地系統(tǒng)都應(yīng)包括在防雷接地系統(tǒng)的保護(hù)范圍之內(nèi)。本條規(guī)定潔凈廠房防雷接地系統(tǒng)的基本要求，涉及建造后的潔凈廠房的安全運行，為此作為強(qiáng)制性條文。